b。 フォトリソグラフィ：フォトリソグラフィは、マイクロ流体チップ製造で広く使用されている技術です。 これには、フォトレジストと呼ばれる光感受性材料を使用して、基板上にパターンを作成することが含まれます。 紫外線への曝露や化学物質の発達を含む一連のステップを通じて、複雑な特徴を基板に定義できます。 フォトリソグラフィは、高解像度のパターニングを可能にし、複雑なマイクロ流体構造の作成に適しています。

d。 ソフトリソグラフィ：ソフトリソグラフィは、マイクロ流体チップ製造で使用される多用途の技術です。 通常、ポリジメチルシロキサン（PDMS）などのエラストマーで作られた基質にパターン化された金型を鋳造することが含まれます。 ソフトリソグラフィは、金型を簡単に複製して変更できるため、マイクロ流体チップの迅速なプロトタイピングを可能にします。 この手法は、幅広い材料との柔軟性、費用対効果、互換性を提供します。

マイクロ流体チップ加工の将来の方向には、電子ビームリソグラフィやナノインプリントリソグラフィなどの高度なナノファブリケーション技術の開発が含まれ、さらに細かい分解能と特徴サイズを実現します。 3D印刷などの添加剤の製造方法も、マイクロ流体デバイスの迅速なプロトタイピングとカスタマイズのために調査されています。

  結論：精密機械加工技術は、マイクロ流体チップの製造に不可欠であり、マイクロスケールでの流体操作と分析に必要な複雑な設計と正確な特徴の作成を可能にします。 レーザーマイクロマシン、フォトリソグラフィ、マイクロミリング、ソフトリソグラフィなどの技術は、マイクロ流体の分野に革命をもたらしました。 精密機械加工の継続的な進歩は、マイクロ流体チップのイノベーションを促進するでしょう